一种高效CF显影液组合物
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种用于显示领域高世代线工艺的高效CF显影液组合物，通过添加特定的Gemini双子表面活性剂，有效促进了碱性基团与光阻分子均一稳定的作用，提高了显影精度。该显影液体系稳定性强，对显影后的光阻分子具有优异的溶解性。该显影液具有显影速度快、图形清晰精度好，CD值稳定，生产和使用温度范围宽，适用于目前高世代线的工艺。
基本信息
专利标题 ：
一种高效CF显影液组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114280900A
申请号 ：
CN202111595387.6
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2021-12-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘小勇田博侯琳熙肖小江
申请人 ：
福建省佑达环保材料有限公司
申请人地址 ：
福建省泉州市泉港区南埔镇柯厝村石化园区南山片区天盈路8号
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
林文弘
优先权 ：
CN202111595387.6
主分类号 ：
G03F7/32
IPC分类号 ：
G03F7/32 B01F23/00 B01F23/43 B01F23/80 B01F101/56
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
G03F7/32
所用的液体成分，例如，显影剂
法律状态
2022-04-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/32
申请日 : 20211224
申请日 : 20211224
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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