显影喷嘴装置及显影设备

授权

摘要

本实用新型提供一种显影喷嘴装置及显影设备，显影喷嘴装置包括至少一显影液喷嘴，所述显影液喷嘴具有喷口；至少一抽气管路，具有抽气口，所述抽气口对应所述喷口设置，所述抽气管路用于当所述喷口存在残留液滴时进行抽气，以使所述抽气口吸入所述残留液滴。本实用新型的优点在于，当所述显影液喷嘴喷洒显影液完毕后，开启所述抽气管路，所述抽气管路能够将所述喷口处残留的液滴吸入所述抽气口，从而避免所述喷口处残留的液滴滴落至晶圆。

基本信息

专利标题：

显影喷嘴装置及显影设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921417370.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-29

授权号：

CN210270518U

授权日：

2020-04-07

发明人：

董佳仁

申请人：

长鑫存储技术有限公司

申请人地址：

安徽省合肥市蜀山区经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

孙佳胤

优先权：

CN201921417370.X

主分类号：

G03F7/30

IPC分类号：

G03F7/30 B05B15/55