负型感光树脂组合物
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供用作硅晶片上的中间层绝缘层的负型感光树脂组合物。所述组合物包括脲交联剂，以及含环氧基的材料和乙烯基苯酚树脂。还提供使用该组合物形成有图案的绝缘层的方法。该树脂组合物可用在芯片规格等级包装和LSL的制造中，例如，用作中间层绝缘层。
基本信息
专利标题 ：
负型感光树脂组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1881083A
申请号 ：
CN200610100229.8
公开（公告）日 ：
2006-12-20
申请日 ：
2006-03-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
荒尾圭野村真
申请人 ：
罗门哈斯电子材料有限公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
沙永生
优先权 ：
CN200610100229.8
主分类号 ：
G03F7/038
IPC分类号 ：
G03F7/038 G03F7/20 G03F7/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/038
高分子化合物被制备成不溶解的或非均匀可湿的
法律状态
2011-06-22 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101105877468
IPC(主分类) : G03F 7/038
专利申请号 : 2006101002298
公开日 : 20061220
号牌文件序号 : 101105877468
IPC(主分类) : G03F 7/038
专利申请号 : 2006101002298
公开日 : 20061220
2007-02-14 ：
实质审查的生效
2006-12-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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