感光性树脂组合物
授权
摘要
提供具有令人满意的显影特性并且在防止离子迁移的同时没有不规则性的感光性树脂组合物。感光性树脂组合物含有具有羧基和烯键式不饱和双键基团的反应性聚合物、基于自由基的稳定剂和光酸产生剂，其中所述反应性聚合物的酸值为40到100mg KOH/g，所述反应性聚合物的氯含量为150ppm或更少，并且所述基于自由基的稳定剂选自受阻胺或基于受阻胺的衍生物；并且还提供使用所述感光性树脂组合物的固化产品。
基本信息
专利标题 ：
感光性树脂组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN107850840A
申请号 ：
CN201680041095.9
公开（公告）日 ：
2018-03-27
申请日 ：
2016-07-13
授权号 ：
CN107850840B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
串田修学羽贺满贝沼邦雄
申请人 ：
罗门哈斯电子材料有限责任公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
陈哲锋
优先权 ：
CN201680041095.9
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004 C08F290/12 G03F7/038
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2018-08-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/004
申请日 : 20160713
申请日 : 20160713
2018-03-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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