感光性树脂组合物
公开
摘要
本发明的课题在于提供层压性优异的感光性树脂组合物等。本发明的解决手段是一种感光性树脂组合物，其是含有(A)在分子内具有酚式羟基的碱溶性树脂、(B)在分子中含有至少2个以上的烷氧基甲基的化合物、(C)光致酸产生剂及(D)溶剂的感光性树脂组合物，其中，(A)成分含有：(A‑1)二官能酚类化合物，(D)成分含有：(D‑1)含有羟基的溶剂，将(D)成分的总量设为100质量%时，(D‑1)成分的含量为5质量%以上且95质量%以下。
基本信息
专利标题 ：
感光性树脂组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114326302A
申请号 ：
CN202111144103.1
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-09-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
霞健一
申请人 ：
味之素株式会社
申请人地址 ：
日本东京都中央区京桥一丁目15-1
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
卢曼
优先权 ：
CN202111144103.1
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004 H01L23/532 H05K3/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
