感光性树脂组合物及感光性元件
实质审查的生效
摘要
感光性树脂组合物包含碱溶性高分子、具有烯属不饱和双键的化合物、光聚合引发剂、及下述通式(1)：{式中，R1和R2各自独立地选自由碳数1～20的有机基团组成的组，但不包含偶氮基。}所示的化合物。
基本信息
专利标题 ：
感光性树脂组合物及感光性元件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114375420A
申请号 ：
CN202080058925.5
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2020-08-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
加持义贵
申请人 ：
旭化成株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN202080058925.5
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004 G03F7/032
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2022-05-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/004
申请日 : 20200812
申请日 : 20200812
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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