感光性树脂组合物
专利权的终止
摘要
本发明涉及可以在碱性水溶液中显影，并且即使是厚膜，在分辨率、感光度、图形形状方面都很好的正型感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物，其特征为含有具有酚羟基的聚合物(a)，具有酚羟基，并且只含1个从羟甲基、烷氧基甲基中选择的基团的化合物(b)以及光敏产酸剂(c)。
基本信息
专利标题 ：
感光性树脂组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1782875A
申请号 ：
CN200510128651.X
公开（公告）日 ：
2006-06-07
申请日 ：
2005-11-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
谷口龙一郎弓场智之富川真佐夫
申请人 ：
东丽株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
孙秀武
优先权 ：
CN200510128651.X
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004 G03F7/008
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2021-11-02 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G03F 7/004
申请日 : 20051123
授权公告日 : 20120523
终止日期 : 20201123
申请日 : 20051123
授权公告日 : 20120523
终止日期 : 20201123
2012-05-23 ：
授权
2007-12-19 ：
实质审查的生效
2006-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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