感光性树脂组合物
实质审查的生效
摘要
本申请涉及一种感光性树脂组合物。所述感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。
基本信息
专利标题 ：
感光性树脂组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114437251A
申请号 ：
CN202210104954.1
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2016-04-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
国松真一松田隆之山田有里筒井大和藤原晶
申请人 ：
旭化成株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN202210104954.1
主分类号 ：
C08F2/44
IPC分类号 ：
C08F2/44 C08F2/46 C08F2/50 C08F20/26 C08F265/06 C08F290/06 G03F7/004 G03F7/027 G03F7/029 G03F7/031 G03F7/032 G03F7/033 G03F7/038 G03F7/20 G03F7/40 G03F7/42 H05K3/06 H05K3/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C08
有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物
C08F
仅用碳-碳不饱和键反应得到的高分子化合物
C08F2/00
聚合工艺过程
C08F2/44
在配料的存在下聚合，例如增塑剂、染料、填充剂
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C08F 2/44
申请日 : 20160408
申请日 : 20160408
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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