感光性树脂组合物
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摘要
本发明涉及感光性树脂组合物。本发明的课题在于提供能够抑制具有Cardo结构的树脂的析出、并且能够形成平滑的固化膜的感光性树脂组合物；由该感光性树脂组合物的固化物形成的固化膜；和使用该感光性树脂组合物的固化膜的形成方法。本发明的解决手段为一种感光性树脂组合物，其包含(A)碱溶性树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(S)溶剂，所述(A)碱溶性树脂含有具有Cardo结构的树脂，所述感光性树脂组合物中，作为(S)溶剂，大气压下的沸点低于180℃的(L)低沸点溶剂和大气压下的沸点为180℃以上且300℃以下的(H)高沸点溶剂以分别规定的量而使用，(H)高沸点溶剂中含有具有芳香族烃环和酯键的化合物。
基本信息
专利标题 ：
感光性树脂组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN107272335A
申请号 ：
CN201710220561.6
公开（公告）日 ：
2017-10-20
申请日 ：
2017-04-06
授权号 ：
CN107272335B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
阿部明生田上胜弥
申请人 ：
东京应化工业株式会社
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
杨宏军
优先权 ：
CN201710220561.6
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004 G03F7/027
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2019-04-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/004
申请日 : 20170406
申请日 : 20170406
2017-10-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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