正型感光性树脂组合物
公开
摘要
本发明的课题是提供可以得到极限分辨力优异、热膨胀系数及弹性模量低、伸长率高、翘曲量被抑制、并且介电特性优异的固化物的正型感光性组合物等。本发明的解决手段是一种正型感光性树脂组合物，其中，含有(A)在分子内具有羟基羰基的聚酰亚胺树脂、及(B)光致酸产生剂。
基本信息
专利标题 ：
正型感光性树脂组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114545738A
申请号 ：
CN202111396375.0
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2021-11-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
武田隆信
申请人 ：
味之素株式会社
申请人地址 ：
日本东京都中央区京桥一丁目15-1
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
卢曼
优先权 ：
CN202111396375.0
主分类号 ：
G03F7/039
IPC分类号 ：
G03F7/039 G03F7/004 H01L23/29
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/039
可光降解的高分子化合物，例如，正电子抗蚀剂
法律状态
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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