正型感光性树脂组合物
专利权的终止
摘要
正型感光性树脂组合物,它含有(A)聚酰胺酸、(B)通式(II): (式中,R2为一价有机基团,R3、R4、R5和R6各自独立地表示氢或一价有机基团,Ar-NO2表示在邻位具有硝基的芳香族烃基)所示的1,4-二氢吡啶衍生物以及(C)胺化合物。
基本信息
专利标题 :
正型感光性树脂组合物
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1831648A
申请号 :
CN200610051588.9
公开(公告)日 :
2006-09-13
申请日 :
2006-03-06
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
藤井弘文斋藤诚大西谦司
申请人 :
日东电工株式会社
申请人地址 :
日本大阪府
代理机构 :
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 :
孙秀武
优先权 :
CN200610051588.9
主分类号 :
G03F7/039
IPC分类号 :
G03F7/039
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/039
可光降解的高分子化合物,例如,正电子抗蚀剂
法律状态
2018-03-23 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G03F 7/039
申请日 : 20060306
授权公告日 : 20110615
终止日期 : 20170306
申请日 : 20060306
授权公告日 : 20110615
终止日期 : 20170306
2011-06-15 :
授权
2008-01-02 :
实质审查的生效
2007-01-17 :
发明专利申请公布说明书更正
更正卷 : 22
号 : 37
页码 : 扉页
更正项目 : 优先权
误 : 缺少优先权第二条
正 : 2005.10.20 JP 2005-306078
号 : 37
页码 : 扉页
更正项目 : 优先权
误 : 缺少优先权第二条
正 : 2005.10.20 JP 2005-306078
2006-09-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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