感光性树脂组合物
公开
摘要
一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有碱溶性高分子、具有烯属双键的化合物、以及光聚合引发剂，在层叠有18μm厚度的铜箔的覆铜层叠板上以25μm厚度层叠由前述感光性树脂组合物形成的感光性树脂层，经过线/间隔＝50μm/30μm的图案状的光照射和显影处理而形成固化抗蚀图案，在50℃下实施55秒的铜蚀刻处理后，去除前述固化抗蚀图案而得到的铜线图案的底部宽度为38μm以上。
基本信息
专利标题 ：
感光性树脂组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114296315A
申请号 ：
CN202111430178.6
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2016-09-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
内藤一也山田有里小坂隼也
申请人 ：
旭化成株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN202111430178.6
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004 G03F7/027 G03F7/031 G03F7/033 H05K3/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
