感光性树脂组合物
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摘要
本发明通过感光性树脂组合物，可以形成可以进行碱性显影且具有优异的耐热性、强度和伸长率的聚酰亚胺膜，该组合物含有(a)在主链末端具有至少一个选自羧基、酚式羟基、磺酸基和巯基的基团的聚酰亚胺、(b1)通式(1)表示的含有不饱和键的聚合性化合物和(c)光聚合引发剂。
基本信息
专利标题 ：
感光性树脂组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101142529A
申请号 ：
CN200680008236.3
公开（公告）日 ：
2008-03-12
申请日 ：
2006-03-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
谷口龙一郎三井博子诹方充史
申请人 ：
东丽株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
熊玉兰
优先权 ：
CN200680008236.3
主分类号 ：
G03F7/037
IPC分类号 ：
G03F7/037 G03F7/027 G03F7/004 C08G73/10 H01L21/027
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/027
具有碳—碳双键的非高分子的可光聚合的化合物，例如，乙烯化合物
G03F7/032
含有黏结剂的
G03F7/037
黏结剂是聚酰胺或聚酰亚胺
法律状态
2012-02-22 ：
授权
2008-05-07 ：
实质审查的生效
2008-03-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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