感光树脂组合物、感光树脂及电子装置
授权
摘要
本发明涉及一种感光树脂组合物,其包含聚合物以及至少一种感光化合物。聚合物包含由酰胺、酰胺酸、酰亚胺、羟基酰胺或苯并噁唑为单体所形成的均聚物或共聚物,且聚合物的侧链及末端的至少一处具有含氮基团,含氮基团具有如式(i)所示的结构。藉此,感光树脂组合物可具有良好的稳定性,并可使感光树脂组合物制备而成的感光树脂具有优良的敏感度和接着性。
基本信息
专利标题 :
感光树脂组合物、感光树脂及电子装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN109426074A
申请号 :
CN201810953929.4
公开(公告)日 :
2019-03-05
申请日 :
2018-08-21
授权号 :
CN109426074B
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
李柏毅李信宏佘明翰卓佩绮陈又铭
申请人 :
达兴材料股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾台中市中部科学工业园区科园一路15号
代理机构 :
北京坤瑞律师事务所
代理人 :
张平元
优先权 :
CN201810953929.4
主分类号 :
G03F7/004
IPC分类号 :
G03F7/004
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2022-04-05 :
授权
2019-03-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/004
申请日 : 20180821
申请日 : 20180821
2019-03-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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