感光树脂组合物、感光树脂组合物薄膜以及图案化的固化物
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种感光树脂组合物，包含聚酰亚胺或聚酰亚胺前体树脂A、添加剂B、分子内具有2个以上环氧基团的化合物C以及重氮萘醌磺酸酯E，其中，所述添加剂B为结构式(1)所示的分子内同时包含有羟基和羧基或同时包含有羟基和酯基的化合物；本发明中所涉及的感光树脂组合物在显影过程中膜厚损失小，低曝光量即可获得精细图像，且所述感光树脂组合物经过热处理固化后的固化膜表现出较强的耐热性与耐化学药品性。
基本信息
专利标题 ：
感光树脂组合物、感光树脂组合物薄膜以及图案化的固化物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114326306A
申请号 ：
CN202210008077.8
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2022-01-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王元强周小明肖桂林鲁丽平朱双全
申请人 ：
武汉柔显科技股份有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市经济技术开发区东荆河路1号办公楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210008077.8
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004 H01L23/29 H01L51/52
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/004
申请日 : 20220106
申请日 : 20220106
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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