感光树脂组合物
授权
摘要
一种感光树脂组合物，其包括(A)粘合剂树脂，(B)可光聚合化合物，(C)光聚合引发剂，(D)溶剂和式(I)的化合物，(在式(I)中，X、Y和Z各自独立地表示单键、(I－1)的基团或式(I－2)的基团，R1～R3各自独立地表示氢原子、卤素原子、含1～6个碳原子的烷基或含1～6个碳原子的烷氧基，在同一苯环上的R1、R2和R3可以相同或不同，而且R4～R6各自独立地表示氢原子或含1～4个碳原子的烷基)。
基本信息
专利标题 ：
感光树脂组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1821873A
申请号 ：
CN200610007054.6
公开（公告）日 ：
2006-08-23
申请日 ：
2006-02-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
武部和男
申请人 ：
住友化学株式会社
申请人地址 ：
日本国东京都
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
程金山
优先权 ：
CN200610007054.6
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004 G02F1/1339 G02F1/133
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2011-09-14 ：
授权
2008-04-09 ：
实质审查的生效
2006-08-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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