负型感光树脂组合物
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供用于在硅晶片上或印刷线路板上形成中间层绝缘层的负型感光树脂组合物。所述组合物包括乙烯基苯酚树脂、联苯基－苯酚树脂和含环氧基的材料。还提供使用该组合物形成有图案的介电膜的方法。该树脂组合物可用在芯片规格等级包装的制造中，例如，用作中间层绝缘层。
基本信息
专利标题 ：
负型感光树脂组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1834783A
申请号 ：
CN200610058835.8
公开（公告）日 ：
2006-09-20
申请日 ：
2006-03-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
荒尾圭野村真
申请人 ：
罗门哈斯电子材料有限公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
沙永生
优先权 ：
CN200610058835.8
主分类号 ：
G03F7/027
IPC分类号 ：
G03F7/027 G03F7/033 G03F7/004
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/027
具有碳—碳双键的非高分子的可光聚合的化合物，例如，乙烯化合物
法律状态
2010-03-24 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-11-22 ：
实质审查的生效
2006-09-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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