感光性树脂组合物、感光性干膜及图案形成方法
公开
摘要
提供感光性树脂组合物，其包含：(A)包含由下述式(A1)表示的重复单元、和选自由下述式(A2)表示的重复单元及由下述式(A3)表示的重复单元中的至少1种的聚合物、(B)在1分子中平均包含4个以上的环氧基的环氧化合物、(C)光致产酸剂、(D)苯并三唑化合物和/或咪唑化合物、和(E)有机溶剂。
基本信息
专利标题 ：
感光性树脂组合物、感光性干膜及图案形成方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114600045A
申请号 ：
CN202080073517.7
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2020-09-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
平野祯典浅井聪五井孝浩
申请人 ：
信越化学工业株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国贸促会专利商标事务所有限公司
代理人 ：
杜丽利
优先权 ：
CN202080073517.7
主分类号 ：
G03F7/075
IPC分类号 ：
G03F7/075 G03F7/032 G03F7/004 G03F7/20 G03F7/32
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/075
含硅的化合物
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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