感光性树脂组合物和使用它的感光性干膜
授权
摘要
本发明提供一种感光性树脂组合物和感光性干膜，其感光度和稳定性优异，并在掩蔽强度、分辨率和电镀非污染性方面具有良好平衡。这种感光性树脂组合物包括碱溶性树脂(A)、光聚合化合物(B)和光聚合引发剂(C)，其中聚合引发剂(C)包括作为必须成分的六芳基二咪唑类化合物(C1)和多官能硫醇化合物(C2)。所述感光性干膜在支持膜上至少具有由所述感光性树脂组合物形成的感光性树脂层。
基本信息
专利标题 ：
感光性树脂组合物和使用它的感光性干膜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101124517A
申请号 ：
CN200580039942.X
公开（公告）日 ：
2008-02-13
申请日 ：
2005-11-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
植松照博胜又直也
申请人 ：
东京应化工业株式会社
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
于辉
优先权 ：
CN200580039942.X
主分类号 ：
G03F7/031
IPC分类号 ：
G03F7/031
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/027
具有碳—碳双键的非高分子的可光聚合的化合物，例如，乙烯化合物
G03F7/028
含有增光敏物质的，例如，感光刺激剂
G03F7/031
G03F7/029组不包括的有机化合物
法律状态
2011-04-13 ：
授权
2008-03-05 ：
实质审查的生效
2008-02-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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