感光性树脂组合物、干膜、固化物和电子部件
实质审查的生效
摘要
提供:具有高的曝光部溶解速度、且能实现优异的溶解对比度(分辨率)的感光性树脂组合物。一种感光性树脂组合物,其包含:(A)为二胺化合物与二羧酸的反应物的聚酰亚胺前体、和(B)感光剂,前述二胺化合物包含选自下述通式(1)和(2)所示的二胺化合物中的至少1种,前述二羧酸包含选自羧酸酐和二羧酸氯化物中的至少1种。
基本信息
专利标题 :
感光性树脂组合物、干膜、固化物和电子部件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114450632A
申请号 :
CN202080068119.6
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2020-09-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
秋元真步国土萌衣绪方寿幸
申请人 :
太阳控股株式会社
申请人地址 :
日本埼玉县
代理机构 :
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘新宇
优先权 :
CN202080068119.6
主分类号 :
G03F7/004
IPC分类号 :
G03F7/004 G03F7/023 H05K3/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2022-05-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/004
申请日 : 20200917
申请日 : 20200917
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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