光敏树脂组合物和由其制备的固化膜
公开
摘要
本发明提供了一种能够在低温下固化时形成具有优异的再溶解性和耐化学性的固化膜的光敏树脂组合物，并且提供了一种由其制备的固化膜。在本发明的光敏树脂组合物中，使用第一共聚物和第二共聚物作为粘结剂来将适当量的琥珀酸酯基和环氧基引入到该组合物中。因此，可以制备固化膜，该固化膜可以甚至在低温下通过提高固化度来充分地固化并且通过控制显影和交联反应的增强而具有优异的再溶解性。进一步地，该组合物具有对于化学溶剂或清洁溶剂的提高的耐化学性，由此可以防止该固化膜的变形。
基本信息
专利标题 ：
光敏树脂组合物和由其制备的固化膜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114545730A
申请号 ：
CN202111346143.4
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2021-11-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
权真李圭哲
申请人 ：
罗门哈斯电子材料韩国有限公司
申请人地址 ：
韩国忠清南道
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
陈哲锋
优先权 ：
CN202111346143.4
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004 G03F7/027
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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