光敏树脂及应用该光敏树脂的光刻胶组合物
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种光敏树脂及应用该光敏树脂的光刻胶组合物。该光敏树脂包括树脂型光敏阴离子和硫鎓盐阳离子,其中,树脂型光敏阴离子的结构式为硫鎓盐阳离子的结构式为其中,R1、R2为H或甲基;R3为改性结构;R4、R5、R6为氢原子数为1~40之间的整数、且碳原子数为1~20之间的整数的烷基、芳基或含硫/氧/氮杂原子的取代基中的一种或多种;n为2~200之间的整数,R7为烷基、芳基或含硫/氧/氮杂原子的官能结构中的一种或多种。本发明的光敏树脂应用到光刻胶组合物中能提高光刻胶组合物的成膜能力,改善光刻图形,提高光刻胶分辨率,并降低线宽粗糙度,从而使光刻胶组合物能够应用于大规模集成电路的光刻技术中。
基本信息
专利标题 :
光敏树脂及应用该光敏树脂的光刻胶组合物
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114262404A
申请号 :
CN202010971058.6
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2020-09-16
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
顾大公余绍山齐国强毛智彪许从应许东升方涛陈玲
申请人 :
宁波南大光电材料有限公司;江苏南大光电材料股份有限公司
申请人地址 :
浙江省宁波市北仑区柴桥街道青山路21号
代理机构 :
深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
贾振勇
优先权 :
CN202010971058.6
主分类号 :
C08F220/18
IPC分类号 :
C08F220/18 C08F220/38 C08F220/20 G03F7/004
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C08
有机高分子化合物;其制备或化学加工;以其为基料的组合物
C08F
仅用碳-碳不饱和键反应得到的高分子化合物
C08F220/00
具有1个或更多不饱和脂族基化合物的共聚物,每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键,并且只有1个是仅以羧基或它的盐、酐、酯、酰胺、酰亚胺或腈为终端
C08F220/02
具有少于10个碳原子的一元羧酸;它的衍生物
C08F220/10
酯
C08F220/12
一元醇或酚的
C08F220/16
含两个或更多碳原子酚或醇的
C08F220/18
与丙烯酸或甲基丙烯酸
法律状态
2022-04-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C08F 220/18
申请日 : 20200916
申请日 : 20200916
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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