一种生物基ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法

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摘要

本发明公开了一种生物基ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法，包含如式I所示无规共聚物结构，其中n、m、x和y为单体的摩尔占比，0＜n≤0.3，0＜m≤0.8，0＜x≤0.2，0＜y≤0.3，n+m+x+y＝1；R₁、R₂、R₃和R₄为H、CH₃或CH₂CH₃。一种光刻胶组合物，包括所述成膜树脂5～30％、酸扩散抑制剂0.5～10％，其余为有机溶剂。本发明的光致产酸剂不仅可以在曝光区域产酸，同时还能有效地在光刻胶中均匀分布，并改善了光刻胶的成膜能力。制得的光刻胶粘附性良好、灵敏度≤38mJ/cm²、分辨率可达到90nm以下。

基本信息

专利标题：

一种生物基ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法

专利标题（英）：

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公开（公告）号：

CN113214427A

申请号：

CN202110466735.3

公开（公告）日：

2021-08-06

申请日：

2021-04-28

授权号：

CN113214427B

授权日：

2022-04-12

发明人：

季生象刘亚栋李小欧顾雪松

申请人：

中科院长春应化所黄埔先进材料研究院

申请人地址：

广东省广州市黄埔区连云路388号

代理机构：

广州市华学知识产权代理有限公司

代理人：

宫爱鹏

优先权：

CN202110466735.3

主分类号：

C08F220/18

IPC分类号：

C08F220/18 C08F220/28 C08F220/32 C08F220/38 G03F7/004