一种生物基星型ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法

一种生物基星型ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备...

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摘要

本发明公开了一种生物基星型ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法，所述成膜树脂包含如下式I无规星型聚合物结构；其中n、m、x和y为单体的摩尔占比，0＜n≤0.3，0＜m≤0.8，0＜x≤0.2，0＜y≤0.3，n+m+x+y＝1；R₁、R₂、R₃和R₄为H、CH₃或CH₂CH₃。本发明将光致产酸剂引入到星型树脂中可以均匀的分布在成膜树脂的膜中。光致产酸剂不仅可以在曝光的区域产酸，同时还能有效地在光刻胶中均匀分布，提高光刻胶的粘附性、灵敏度(≤31mJ/cm²)、分辨率(≤90nm)，改善光刻胶的成膜能力。

基本信息

专利标题：

一种生物基星型ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法

专利标题（英）：

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公开（公告）号：

CN113214428A

申请号：

CN202110466774.3

公开（公告）日：

2021-08-06

申请日：

2021-04-28

授权号：

CN113214428B

授权日：

2022-04-12

发明人：

季生象顾雪松刘亚栋李小欧

申请人：

中科院长春应化所黄埔先进材料研究院

申请人地址：

广东省广州市黄埔区连云路388号

代理机构：

广州市华学知识产权代理有限公司

代理人：

宫爱鹏

优先权：

CN202110466774.3

主分类号：

C08F220/18

IPC分类号：

C08F220/18 C08F220/28 C08F220/32 C08F220/38 G03F7/004