光刻胶组合物

发明专利申请公布后的视为撤回

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摘要

本发明提供了化学增幅型正性光刻胶组合物，它包含具有缩醛和脂环基的添加剂。本发明优选的光刻胶包括含具有一个或多个光酸不稳定部分的聚合物的树脂组分、一种或多种光酸生成化合物以及包含一种或多种脂环基例如金刚烷基的添加剂等。

基本信息

专利标题：

光刻胶组合物

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN103076720A

申请号：

CN201210496282.X

公开（公告）日：

2013-05-01

申请日：

2005-11-24

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

J·F·卡梅伦S·J·姜J·W·成

申请人：

罗门哈斯电子材料有限公司

申请人地址：

美国马萨诸塞州

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

陈哲锋

优先权：

CN201210496282.X

主分类号：

G03F7/039

IPC分类号：

G03F7/039 G03F7/00

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/004

感光材料

G03F7/039

可光降解的高分子化合物，例如，正电子抗蚀剂

法律状态

2015-02-25 ：

发明专利申请公布后的视为撤回

号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101711582133
IPC(主分类) : G03F 7/039
专利申请号 : 201210496282X
申请公布日 : 20130501

2013-06-05 ：

实质审查的生效

号牌文件类型代码 : 1604
号牌文件序号 : 101465117659
IPC(主分类) : G03F 7/039
专利申请号 : 201210496282X
申请日 : 20051124

2013-05-01 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN103076720A.PDF

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