光刻胶剥离组合物
公开
摘要

提供了一种包含有机胺的光刻胶剥离组合物和一种方法。所述光刻胶剥离组合物包含具有下式(1)的有机胺:

基本信息
专利标题 :
光刻胶剥离组合物
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114269893A
申请号 :
CN201980099568.4
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2019-08-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
蒋奇陈雪姜鑫牟建海S·W·金
申请人 :
陶氏环球技术有限责任公司
申请人地址 :
美国密歇根州
代理机构 :
北京泛华伟业知识产权代理有限公司
代理人 :
徐舒
优先权 :
CN201980099568.4
主分类号 :
C11D7/32
IPC分类号 :
C11D7/32  G03F7/42  H01L21/306  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C11
动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡;由此制取的脂肪酸;洗涤剂;蜡烛
C11D
洗涤剂组合物;用单一物质作为洗涤剂;皂或制皂;树脂皂;甘油的回收
C11D7/00
主要以非表面活性化合物为基料的洗涤剂组合物
C11D7/22
有机化合物
C11D7/32
含氮的
法律状态
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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