用于剥离光刻胶的组合物及薄膜晶体管阵列面板制造方法
专利申请权、专利权的转移
摘要

本发明提供了一种光刻胶剥离剂,包括:约5wt%至20wt%的醇胺、约40wt%至70wt%的乙二醇醚、约20wt%至40wt%的N-甲基吡咯烷酮、以及约0.2wt%至6wt%的螯合剂。

基本信息
专利标题 :
用于剥离光刻胶的组合物及薄膜晶体管阵列面板制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1752852A
申请号 :
CN200510105132.1
公开(公告)日 :
2006-03-29
申请日 :
2005-09-22
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
朴弘植郑宗铉尹锡壹金圣培金玮溶许舜范金柄郁
申请人 :
三星电子株式会社
申请人地址 :
韩国京畿道
代理机构 :
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 :
李伟
优先权 :
CN200510105132.1
主分类号 :
G03F7/42
IPC分类号 :
G03F7/42  G02F1/1368  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/42
剥离或剥离剂
法律状态
2013-01-23 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101499997806
IPC(主分类) : G03F 7/42
专利号 : ZL2005101051321
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 三星电子株式会社
变更后权利人 : 三星显示有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道
变更后权利人 : 韩国京畿道
登记生效日 : 20121219
2012-02-01 :
授权
2007-11-07 :
实质审查的生效
2006-03-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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