薄膜晶体管阵列面板及其制造方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
提供了一种薄膜晶体管阵列面板，其包括：具有显示区域和驱动器的基板；多晶硅层，形成于基板上，并包括沟道、源和漏区和设置在沟道区与源和漏区之间、且具有低于源和漏区的杂质浓度的轻掺杂区；形成于多晶硅层上的栅极绝缘层；形成于栅极绝缘层上并与多晶硅层的沟道区交叠而且掺杂有杂质的杂质层；形成于杂质层上的栅极；覆盖栅极并具有分别暴露出源和漏区的第一和第二接触孔的层间绝缘层；以及通过第一和第二接触孔分别连接到源和漏区的源和漏极。
基本信息
专利标题 ：
薄膜晶体管阵列面板及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1790723A
申请号 ：
CN200510119903.2
公开（公告）日 ：
2006-06-21
申请日 ：
2005-09-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
郑震九柳春基朴庆珉
申请人 ：
三星电子株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
戎志敏
优先权 ：
CN200510119903.2
主分类号 ：
H01L27/12
IPC分类号 ：
H01L27/12 H01L29/786 H01L21/84 H01L21/336
法律状态
2008-05-21 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-06-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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