本实用新型公开了一种去除剥离液中光刻胶的闪蒸装置，包括闪蒸罐、溶液仓、旋转动力单元、均洒单元和缓阻单元；所述闪蒸罐的顶部安装有负压机，所述负压机的进气口通过抽气管与闪蒸罐的内部连通，且负压机的出气口连接有出气管，所述闪蒸罐的顶部侧面安装有溶液仓，所述溶液仓连接硬质的溶液吸取管的一端，所述溶液吸取管的另一端穿过闪蒸罐的顶部中心圆孔延伸至闪蒸罐内并且通过旋转接头与均洒单元的竖管顶端连接，所述闪蒸罐的内侧中部设置有螺旋形的缓流板；该去除剥离液中光刻胶的闪蒸装置，可以将剥离液充分的分撒在闪蒸罐内，并且可以缓阻剥离液沉入到闪蒸罐底，对光刻胶的闪蒸去除效率高，光刻胶的去除充分。