一种高效光刻胶剥离液液面调节装置

授权

摘要

本实用新型涉及一种高效光刻胶剥离液液面调节装置，包括分离箱、分离池以及存储罐,所述分离池位于分离箱端面，所述存储罐位于分离箱内部，分离池与存储罐之间分别通过进液管与出液管相互连通，所述存储罐端面具有液体流入口，所述存储罐内设有活塞，所述分离箱内部设有驱动单元；本实用新型涉结构紧凑，生产过程中可对剥离液的高度实现精确控制，进一步加强了设备的自动化和智能化，提高了生产效率。

基本信息

专利标题：

一种高效光刻胶剥离液液面调节装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920795058.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-29

授权号：

CN210015328U

授权日：

2020-02-04

发明人：

李虎宝

申请人：

江阴市化学试剂厂有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市江阴市华士镇向阳桥堍

代理机构：

北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

王凯

优先权：

CN201920795058.8

主分类号：

G03F7/42

IPC分类号：

G03F7/42