一种边缘光刻胶去除装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种边缘光刻胶去除装置,包括环型加工台,环型加工台的上端面开设有处理槽,处理槽的侧壁上滑动连接有齿链,齿链一侧等间距转动连接有多组放置台,放置台的上端面螺栓连接有定位圈,定位圈内设置有真空吸盘,环型加工台的一侧设置有通孔,通孔内转动连接有第一齿轮,第一齿轮与齿链啮合,环型加工台的一侧设置有步进电机,步进电机的输出端设置有第二齿轮,环型加工台的上端面沿着逆时针的方向依次设置有遮光板、第一喷头、第二喷头和烘干风机。环型加工台和遮光板、第一喷头、第二喷头和烘干风机的设计,可实现流水线加工,提高加工效率;定位圈和真空吸盘的设计,可满足不同的加工要求,提高该装置的使用范围。
基本信息
专利标题 :
一种边缘光刻胶去除装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202220013022.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2022-01-05
授权号 :
CN216449894U
授权日 :
2022-05-06
发明人 :
葛雷
申请人 :
丹东华顺电子有限公司
申请人地址 :
辽宁省丹东市振兴区桃源街64号
代理机构 :
北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘文骞
优先权 :
CN202220013022.1
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-05-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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