一种用于清洗PCB板的光刻胶去除装置
授权
摘要
本实用新型所涉及一种用于清洗PCB板的光刻胶去除装置，包括射频电源模块，等离子发生器，因等离子发生器上设置有进气系统；等离子发生器包括原板地电极，硅晶片，光刻胶板，射频电极，等离子气体流；进气系统包括输气管，氧气装置，氩气装置，所述输气管与等离子发生器相互连接。在此结构中，等离子发生器将进气系统被引入气体置于射频电极与原板地电极之间击穿电离后形成冷等离子气体，同时使得活性气体激发审查活性物质，并均匀向下喷出在带有个光刻胶的电路板表面，形成150毫米放电区，使得冷等离子气体中氧气和氩气的产生电离能，与光刻胶发生反应，生成二氧化碳和水，排放外界。从而达到操作方便，温度低，无刮伤无污染，成本低的功能。
基本信息
专利标题 ：
一种用于清洗PCB板的光刻胶去除装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922271826.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-16
授权号 ：
CN211603843U
授权日 ：
2020-09-29
发明人 ：
袁江涛梁东兵
申请人 ：
先进电子（珠海）有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市斗门区富山工业区珠峰大道（荔山段南侧）
代理机构 ：
深圳虚谷纳智知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
周皓
优先权 ：
CN201922271826.2
主分类号 ：
G03F7/42
IPC分类号 ：
G03F7/42
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/42
剥离或剥离剂
法律状态
2020-09-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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