一种光刻胶组合物及应用
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种光刻胶组合物及应用，该光刻胶组合物包括：聚酰胺酸树脂，重氮萘醌磺酸脂类感光剂和添加剂；聚酰胺酸树脂具有如式(1)或式(2)所示的结构单元，式(1)：式(2)：
其中，R1和R2各自独立地选自如式(3)所示的结构，式(3)：‑O‑R11‑(OH)n。本发明通过羟基苯甲醇进行酯化得到的聚酰胺树脂构成的光刻胶组分，可以有效的进行光刻胶成形，而且由于聚酰胺酸树脂良好的耐热性能，光刻胶图形的耐热性也提高到300℃以上，耐热性能良好。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻胶组合物及应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114355727A
申请号 ：
CN202210050044.X
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2022-01-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王晓伟
申请人 ：
苏州理硕科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城10幢102室
代理机构 ：
苏州领跃知识产权代理有限公司
代理人 ：
王宁
优先权 ：
CN202210050044.X
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004 G03F7/016
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/004
申请日 : 20220117
申请日 : 20220117
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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