金刚烷－多酚寡聚物及其光刻胶组合物和应用
授权
摘要
本发明提供了一种金刚烷－多酚寡聚物及包括其的光刻胶组合物，所述金刚烷－多酚寡聚物的合成过程简单，原料简单易得，反应通过两步即可高产率得到产物，反应中间体易于分离，工艺过程适用于工业化生产；本发明以金刚烷和多酚直接作为寡聚物的构筑单元，最大限度地提高了寡聚物的抗刻蚀性能，同时增加了其热稳定性和成膜性，综合性能大大提高，所述寡聚物的玻璃化温度大于100℃，适合光刻加工工艺的要求，而且在各种极性溶剂中都具有很好的溶解性，有助于其适应不同光刻技术中对成膜厚度的要求，扩大了应用范围。
基本信息
专利标题 ：
金刚烷－多酚寡聚物及其光刻胶组合物和应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112142955A
申请号 ：
CN201910562739.4
公开（公告）日 ：
2020-12-29
申请日 ：
2019-06-26
授权号 ：
CN112142955B
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
李嫕胡盛文陈金平于天君曾毅
申请人 ：
中国科学院理化技术研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村东路29号
代理机构 ：
北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘元霞
优先权 ：
CN201910562739.4
主分类号 ：
C08G61/02
IPC分类号 ：
C08G61/02 G03F7/038 G03F7/039 C07C39/17 C07C69/96 C07D309/12 C07C37/16 C07C68/00 C07C68/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C08
有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物
C08G
用碳-碳不饱和键以外的反应得到的高分子化合物
C08G61/00
由在高分子主链中形成碳-碳键合的反应得到的高分子化合物
C08G61/02
在高分子主链中只含有碳原子的高分子化合物，如聚苯二亚甲基
法律状态
2022-04-29 ：
授权
2021-01-15 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C08G 61/02
申请日 : 20190626
申请日 : 20190626
2020-12-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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