感光性树脂组合物、感光干膜和相应的元件
公开
摘要
本发明提供了感光性树脂组合物、感光干膜和相应的元件。该感光性树脂组合物包括：碱可溶性树脂、光聚合单体和光引发剂，光引发剂包括具有结构式I所示结构的化合物，结构式I结构式Ⅱ结构式I中，R为结构式Ⅱ所示的结构；结构式Ⅱ中，A选自氮原子、氧原子、硫原子中的任意一种；R1为取代基，R1选自H、Cl、Br、C1~C4的烷基中的任意一种。本申请将现有的三芳基咪唑二聚体重新进行结构设计，引入功能性的基团，并使用特定的感光性树脂组合物，对显影液的分散稳定性优异、显影沉淀物少，而且具有较高的光敏性，可形成良好的抗蚀图案。
基本信息
专利标题 ：
感光性树脂组合物、感光干膜和相应的元件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114594656A
申请号 ：
CN202210490899.4
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-05-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朱高华袁丽吴佳丰李伟杰
申请人 ：
杭州福斯特应用材料股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市临安区锦北街道福斯特街8号
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
金田蕴
优先权 ：
CN202210490899.4
主分类号 ：
G03F7/027
IPC分类号 ：
G03F7/027 H05K3/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/027
具有碳—碳双键的非高分子的可光聚合的化合物，例如，乙烯化合物
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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