感光性树脂膜、抗蚀剂图案的形成方法及配线图案的形成方法
公开
摘要
本发明涉及一种感光性树脂膜，其含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂及阻聚剂，其厚度为35～300μm。
基本信息
专利标题 ：
感光性树脂膜、抗蚀剂图案的形成方法及配线图案的形成方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114585974A
申请号 ：
CN201980101133.9
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2019-10-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
新井达彦平山枫果小野敬司成田真生深谷雄大
申请人 ：
昭和电工材料株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
白丽
优先权 ：
CN201980101133.9
主分类号 ：
G03F7/40
IPC分类号 ：
G03F7/40 G03F7/004 G03F7/027 G03F7/42
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/40
去除影像之后的处理，例如，烘干
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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