防止光刻胶泄漏的装置和光刻胶输出装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种防止光刻胶泄漏的装置、以及一种包括防止光刻胶泄露装置的光刻胶输出装置。本实用新型中防止光刻胶泄露的装置包括：废液导管、储液容器、以及抽气装置，其中，所述储液容器的入口与所述废液导管的一端导通，所述废液导管的另一端与光刻胶输出装置的光刻胶导管导通；且，所述储液容器还具有一与所述抽气装置的入气口导通的开口。这样，当塑料包装袋内为空时，将光刻胶输出装置的光刻胶导管、氮气导管连同瓶盖一起从塑料包装袋为空的储液瓶中拔出，同时开启抽气装置，使得残留在光刻胶导管内壁的液态光刻胶在气流的带动下，依次经光刻胶导管和废液导管流入至储液容器内部，从而不会自光刻胶导管的输入端泄漏。

基本信息

专利标题：

防止光刻胶泄漏的装置和光刻胶输出装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820123013.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-10-14

授权号：

CN201266302Y

授权日：

2009-07-01

发明人：

任亚然

申请人：

中芯国际集成电路制造(北京)有限公司

申请人地址：

100176北京市经济技术开发区文昌大道18号

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司

代理人：

王琦

优先权：

CN200820123013.8

主分类号：

G03F7/16

IPC分类号：

G03F7/16