显影机
授权
摘要
本实用新型揭露一种显影机，为一种针对扇出型面板级封装结构的玻璃基板进行黄光作业的显影机，本实用新型显影机包括一机壳、复数组压制机构、复数个边导轮、一第一药刀机构、一浸泡槽、一第二药刀机构，以及一第四传感器；借此，本实用新型的显影机主要借由压制机构与浸泡槽的硬件设计，有效使用压制机构的压制弹簧压制扇出型面板级封装结构的基板以避免翘取，再借由在籍传感器启动往复移动以完成显影作业，确实达到提高对基板的夹持力而避免射片与滑片造成破片的问题，以及制程过程中的基板整平性与均一性等主要优势。
基本信息
专利标题 ：
显影机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020143293.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-22
授权号 ：
CN211826897U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
江家谊
申请人 ：
亚智科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾桃园市中坜区自强三路三号
代理机构 ：
北京申翔知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵梦雯
优先权 ：
CN202020143293.X
主分类号 ：
G03F7/30
IPC分类号 ：
G03F7/30 H01L21/67
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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