本实用新型涉及匀胶显影机技术领域，尤其涉及一种匀胶显影机用光刻胶回收装置，解决了现有技术在匀胶显影机的工作过程中会使用到较多的光刻胶，而这些光刻胶在旋转匀胶的过程中，会被甩落较多，造成资源的浪费的缺点，包括匀胶机，其外表面设置有控制面板，且匀胶机的底部设置有多个支脚，匀胶罐设置于匀胶机的顶部，且匀胶罐的内部安装有作业盘，所述匀胶罐的内部两侧均开设有安装槽及装载口，支板一侧设置有回收柜。本实用新型利用T型结构的安装杆及安装槽，实现支板与匀胶罐的组装连接，对晶圆片旋转匀胶过程中甩出的光刻胶进行回收二次利用，且通过装载口可方便的对安装杆进行分离组装，保持光刻胶的回收工作持续性进行。