一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置
授权
摘要
本实用新型提供一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，包括储液罐、缓存罐和消泡罐，所述储液罐通过第一输送管与缓存罐连接，缓存罐内设有过滤腔和缓存腔，缓存腔通过第二输送管与机台上的喷嘴连接，该装置通过定时通过增加对缓存腔液体的输送使上端悬浮的气泡进入过滤腔，缓存腔和过滤器内液位传感器检测液面高度，过滤腔通过消泡罐内真空直接吸入消泡罐内，消泡罐利用真空泵消除气泡并回收利用，该装置减少了气泡的过滤消除并可回收使用，避免使用消泡剂对产品产生影响，第二输送管位于缓存腔的进液口外端包裹有滤筒，能够再次过滤显影液内的气泡。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921368666.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-22
授权号 ：
CN210155513U
授权日 ：
2020-03-17
发明人 ：
陈武档周国波赖艺珠梁荣增宋里千
申请人 ：
福建泓光半导体材料有限公司
申请人地址 ：
福建省漳州市高新区九湖镇林前村林前773号
代理机构 ：
北京立成智业专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张江涵
优先权 ：
CN201921368666.7
主分类号 ：
G03F7/30
IPC分类号 ：
G03F7/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2020-03-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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