一种光刻胶匀胶显影机的冷却保温装置
授权
摘要
本实用新型提供一种光刻胶匀胶显影机的冷却保温装置，包括安装在涂胶腔室内的吸盘和冷板，吸盘固定安装在转轴上，所述冷板可调节安装在吸盘的下端且对应转轴设有转轴穿透的圆孔，冷板通过托架可调节升降的安装在吸盘的下端，冷板和托架内均有转轴穿过的孔洞方便吸盘的旋转，托架通过支架连接升降气缸调节冷板的高度，便于贴近吸盘进行降温，提高降温效果；冷板内水道内端与进液管连接，便于吸盘中心端的硅片快速降温。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻胶匀胶显影机的冷却保温装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921368772.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-22
授权号 ：
CN210155511U
授权日 ：
2020-03-17
发明人 ：
宋里千陈武档周国波赖艺珠梁荣增
申请人 ：
福建泓光半导体材料有限公司
申请人地址 ：
福建省漳州市高新区九湖镇林前村林前773号
代理机构 ：
北京立成智业专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张江涵
优先权 ：
CN201921368772.5
主分类号 ：
G03F7/26
IPC分类号 ：
G03F7/26 G03F7/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
法律状态
2020-03-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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