处理废弃光刻胶的装置

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及一种处理废弃PR胶的装置，包括排液空腔、排液斜坡、接入口、真空口、排液口以及设置在所述排液空腔内的挡片，所述的挡片为一个以上。本实用新型使得气体状溶解液在接入口与真空口之间不能形成气流，有效的防止气体状溶解液进入真空管道，解决了真空管道易堵塞的问题。

基本信息

专利标题：

处理废弃光刻胶的装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720149142.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-05-15

授权号：

CN201035319Y

授权日：

2008-03-12

发明人：

朴成哲黄福林

申请人：

北京京东方光电科技有限公司

申请人地址：

100176北京市经济技术开发区西环中路8号

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司

代理人：

刘芳

优先权：

CN200720149142.X

主分类号：

G03F7/16

IPC分类号：

G03F7/16 B05C11/10

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/16

涂层处理及其设备

法律状态

2017-06-23 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101729158940
IPC(主分类) : G03F 7/16
专利号 : ZL200720149142X
申请日 : 20070515
授权公告日 : 20080312
终止日期 : 无

2015-07-08 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101717312705
IPC(主分类) : G03F 7/16
专利号 : ZL200720149142X
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 北京京东方光电科技有限公司
变更后权利人 : 京东方科技集团股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100176 北京市经济技术开发区西环中路8号
变更后权利人 : 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 无
变更后权利人 : 北京京东方光电科技有限公司
登记生效日 : 20150616

2008-03-12 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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