一种光刻胶涂布装置
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种光刻胶涂布装置,包括连接块和箱体,所述箱体的上端安装有连接块,所述连接块的上端外壁上设置有连接盖,所述连接盖和连接块通过固定合页固定连接,所述连接盖的上端靠近左侧外壁上设置有连接柱,所述箱体的右端外壁上设置有固定防抖装置,所述箱体的下端外壁上设置有固定支腿装置,所述箱体的前端上侧外壁上设置有触屏显示器,所述触屏显示器右侧的箱体前端上侧外壁上设置有按键,所述固定防抖装置上设置有连接壳,通过在涂布装置的两侧加装固定防抖装置,装置上的吸盘与地面连接使得整个涂布装置与地面有了固定连接,从而将涂布装置产生的震动传递给地面以减少涂布装置自身的震动,使得光刻胶涂布装置的使用起来更加方便。
基本信息
专利标题 :
一种光刻胶涂布装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921747392.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-18
授权号 :
CN210402006U
授权日 :
2020-04-24
发明人 :
佟新廷
申请人 :
昆山虹灿光电材料有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市张浦镇商秧路999号161室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921747392.2
主分类号 :
G03F7/16
IPC分类号 :
G03F7/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2021-10-01 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G03F 7/16
申请日 : 20191018
授权公告日 : 20200424
终止日期 : 20201018
申请日 : 20191018
授权公告日 : 20200424
终止日期 : 20201018
2020-04-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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