一种流量可控光刻胶涂布装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种流量可控光刻胶涂布装置，涉及显示技术领域，解决了现有技术中，光刻胶在涂布时，流速控制不准确，导致降低工作人员工作效率的问题，其技术方案要点是：包括排料泵，排料泵通过输送管连接有控流件，输送管一端与排料泵的输出端连接，另一端与控流件的输入端连接；控流件包括两端开口设置的盒体和位于盒体内部的调节件；盒体两侧壁对称设有与调节件插接的条形槽；调节件包括两插接件，插接件由两块三角形卡板重合拼接构成，且两卡板之间形成V形口结构，两个插接件相互拼接，并将两个V形口结构封闭形成位于调节件中部的排流孔；调节件设有控制排流孔大小的调节机构；达到提高工作人员的工作效率和降低成本的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种流量可控光刻胶涂布装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021451245.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-21
授权号 ：
CN212675359U
授权日 ：
2021-03-09
发明人 ：
闵书珍王晓伟
申请人 ：
苏州理硕科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市中国(江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城10幢102室
代理机构 ：
成都明涛智创专利代理有限公司
代理人 ：
丁国勇
优先权 ：
CN202021451245.3
主分类号 ：
G03F7/16
IPC分类号 ：
G03F7/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2021-03-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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