一种光刻胶涂布装置及其使用方法
公开
摘要
本发明公开了一种光刻胶涂布装置及其使用方法，包括安装架主体，所述安装架主体的外壁固定连接有固定架，所述固定架的内壁固定连接有储胶罐，所述储胶罐的底部设置有喷胶口，所述储胶罐的一侧外壁固定连接有第二安装柜，所述第二安装柜的内壁设置有传动机构；本发明当加工基板到达喷胶口的底部时，喷胶口开始向加工基板进行喷洒光刻胶，加工基板继续移动，此时启动第一电机，第一电机带动第一连接杆转动，第一连接杆带动第一齿轮转动，第一齿轮带动第二齿轮转动，活动块随着齿链向下运动，带动刮刀靠近加工基板表面，根据所需求的不同厚度来控制刮刀与加工基板之间的距离，来刮掉加工基板表面多余的光刻胶，提高装置的实用性和方便性。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻胶涂布装置及其使用方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114371600A
申请号 ：
CN202111624429.4
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘颂军孙炜贾成林冯亚楠吕国文郭双环孔星
申请人 ：
沧州信联化工有限公司
申请人地址 ：
河北省沧州市沧州临港经济技术开发区张仲景路5号
代理机构 ：
深圳市广诺专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
蒋小燕
优先权 ：
CN202111624429.4
主分类号 ：
G03F7/16
IPC分类号 ：
G03F7/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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