一种光刻胶除泡装置及其使用方法
公开
摘要
本发明公开了一种光刻胶除泡装置及其使用方法，包括除泡罐，所述除泡罐包括焊接于内壁的顶座和设置于顶座下方的破泡组件，所述破泡组件包括连杆、座块和焊接在座块底壁的破泡板，所述连杆通过铰链与顶座转动连接，所述顶座的底壁设置有气缸，所述破泡板通过铰链与连杆转动连接，所述连杆的侧壁安装有按板，具体涉及光刻胶除泡技术领域。该光刻胶除泡装置及其使用方法，通过设置有AI摄像头和破泡组件，在进行光刻胶的除泡工作中，通过AI摄像头定时的拍摄和监测光刻胶液面，然后通过控制单元内部的PLC程序控制破泡板击打光刻胶液面，即可实现光刻胶液面的自动除泡作业，解决了人力监测导致成本上升的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻胶除泡装置及其使用方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114344954A
申请号 ：
CN202111608174.2
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2021-12-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘颂军孙炜冯亚楠吕国文贾成林郭双环孔星
申请人 ：
沧州信联化工有限公司
申请人地址 ：
河北省沧州市沧州临港经济技术开发区张仲景路5号
代理机构 ：
深圳市广诺专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘飞
优先权 ：
CN202111608174.2
主分类号 ：
B01D19/00
IPC分类号 ：
B01D19/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D19/00
液体的脱气
法律状态
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
