涂布装置及涂布方法
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摘要

本发明提供一种抑制涂布不均的涂布装置及涂布方法。本发明的课题在于在通过涂布平台而一边使基板以上浮的状态移动一边对所述基板的上表面供给处理液来进行涂布的涂布装置中抑制涂布不均,所述涂布平台包含朝向上方具有气体的喷出口的多个开口部与具有所述气体的抽吸口的多个开口部。涂布上浮区域、上游侧上浮区域及下游侧上浮区域均在水平面内沿与移动方向正交的列方向排列沿着移动方向排列多个开口部而成的开口行而使基板上浮,在涂布上浮区域、上游侧上浮区域及下游侧上浮区域中的至少一个中,针对每个开口行,构成开口行的多个开口部在列方向上分散配置。

基本信息
专利标题 :
涂布装置及涂布方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111545381A
申请号 :
CN201911172486.6
公开(公告)日 :
2020-08-18
申请日 :
2019-11-26
授权号 :
CN111545381B
授权日 :
2022-06-07
发明人 :
富藤幸雄大宅宗明塩田明仁铃木启悟
申请人 :
株式会社斯库林集团
申请人地址 :
日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1(邮编:602-8585)
代理机构 :
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 :
杨文娟
优先权 :
CN201911172486.6
主分类号 :
B05B13/04
IPC分类号 :
B05B13/04  B05B13/02  B05B15/555  B05B14/00  
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IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B13/00
不包含在B05B1/00至B05B11/00各组中的,用喷射的方法在物体或其他工件的表面涂布液体或其他流体的机器或设备
B05B13/02
支撑工件的装置;喷头的配置或安装;进给工件装置的改进或配置
B05B13/04
操作时移动喷头
法律状态
2022-06-07 :
授权
2021-05-25 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B05B 13/04
申请日 : 20191126
2020-08-18 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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