涂布装置、高度检测方法以及涂布方法
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摘要

提供一种涂布装置、高度检测方法以及涂布方法,对基板施加浮力来在水平方向上运送基板并向基板供给处理液,高精度地检测与喷嘴的相向位置上的基板上表面的高度。涂布装置具有:运送部,从下方对基板施加浮力并在水平方向上运送基板;喷嘴,被定位在与被运送的基板的上表面相向的涂布位置并向基板喷出处理液;高度检测部,在基板的运送方向上,检测喷嘴的上游侧或下游侧的检测位置上的基板的上表面的高度;计算部,基于规定的换算特性,根据在检测位置检测到的高度,计算与位于涂布位置的喷嘴相向的相向位置上的基板的上表面的高度。换算特性是根据事先运送基板而在相向位置以及检测位置分别检测到的基板的上表面的高度的相关关系来预先求出的。

基本信息
专利标题 :
涂布装置、高度检测方法以及涂布方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112517321A
申请号 :
CN202010854635.3
公开(公告)日 :
2021-03-19
申请日 :
2020-08-24
授权号 :
CN112517321B
授权日 :
2022-05-10
发明人 :
大宅宗明实井祐介黑枝笃史
申请人 :
株式会社斯库林集团
申请人地址 :
日本京都府
代理机构 :
成都超凡明远知识产权代理有限公司
代理人 :
魏彦
优先权 :
CN202010854635.3
主分类号 :
B05C5/02
IPC分类号 :
B05C5/02  B05C11/10  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C5/00
将液体或其他流体物质喷射,灌注或让其流到工件表面的装置
B05C5/02
液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来
法律状态
2022-05-10 :
授权
2021-08-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B05C 5/02
申请日 : 20200824
2021-03-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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