承载台及采用该承载台的光刻胶涂布设备
授权
摘要
本实用新型提供一种承载台及采用该承载台的光刻胶涂布设备，其中，清洗系统能够对内壳体的外侧壁及外壳体的内侧壁进行定期清洗，降低承载台的内壳体及外壳体的替换频率，大大提高了光刻胶涂布设备的工作效率。
基本信息
专利标题 ：
承载台及采用该承载台的光刻胶涂布设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920451176.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-03
授权号 ：
CN209496239U
授权日 ：
2019-10-15
发明人 ：
王立聪颜廷彪叶日铨黄志凯
申请人 ：
德淮半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN201920451176.7
主分类号 ：
G03F7/16
IPC分类号 ：
G03F7/16 G03F7/42
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2019-10-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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