一种光刻胶高端精细过滤装置
授权
摘要
本实用新型提供一种光刻胶高端精细过滤装置，包括外壳和密封盖，所述外壳顶端布置有密封盖，所述密封盖内部固定连接有一号隔板，所述一号隔板一侧布置有进料腔，所述一号隔板另一侧布置有出料腔，所述外壳内部布置有过滤网框，所述过滤网框内腔固定连接有二号隔板，所述二号隔板一侧布置有一号导流室，所述二号隔板另一侧布置有二号导流室，所述一号导流室一侧壁布置有滤孔，所述过滤网框外部一侧壁布置有排胶槽孔，所述过滤网框内部布置有精密过滤芯。设计新颖，结构简单，可以对光刻胶进行良好的精过滤，同时能够对光刻胶进行两次过滤，大大的提升装置对光刻胶过滤的纯净度，且不易使光刻胶沾粘在过滤装置内部，较为实用。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻胶高端精细过滤装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921368624.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-22
授权号 ：
CN210495510U
授权日 ：
2020-05-12
发明人 ：
宋里千陈武档周国波赖艺珠梁荣增
申请人 ：
福建泓光半导体材料有限公司
申请人地址 ：
福建省漳州市高新区九湖镇林前村林前773号
代理机构 ：
北京立成智业专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张江涵
优先权 ：
CN201921368624.3
主分类号 ：
B01D36/02
IPC分类号 ：
B01D36/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D36/00
过滤回路或过滤器与其他分离装置的组合
B01D36/02
不同种类的过滤器的组合
法律状态
2020-05-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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